シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS振動子の1 Pascal真空封止

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 記事
タイトル: シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS振動子の1 Pascal真空封止
著者・編者: 鈴木裕輝夫
ゴンティアンジャオ
本田志弥
宮下英俊
Muhammad Jehanzeb Khan
塚本貴城
田中秀治
著者標目: 鈴木裕輝夫
ゴンティアンジャオ
本田志弥
宮下英俊
Muhammad Jehanzeb Khan
塚本貴城
田中秀治
並列タイトル等: ONE PASCAL VACUUM SEALING OF MEMS RESONATOR BY SILICON MIGRATION SEALING (SMS) BASED WAFER-LEVEL PACKAGING
タイトル（掲載誌）: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
巻号年月日等（掲載誌）: 40:2023.11.6-9
掲載巻: 40
掲載ページ: 5p
掲載年月日（W3CDTF）: 2023-11
出版事項（掲載誌）: [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: YH247-299
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 033243561
http://id.ndl.go.jp/bib/033243561
整理区分コード: 632