雑誌　電子資料「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集
巻号40:2023.11.6-9
記事シリコンマイグレーシ...

シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS振動子の1 Pascal真空封止

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シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS振動子の1 Pascal真空封止

国立国会図書館請求記号
YH247-299
国立国会図書館書誌ID
033243561
資料種別
記事
著者
鈴木 裕輝夫ほか
出版者
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
出版年
2023-11
資料形態
記録メディア
掲載誌名
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 40:2023.11.6-9
掲載ページ
p.5p
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記録メディア

資料種別
記事
タイトル
シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS振動子の1 Pascal真空封止
著者・編者
鈴木 裕輝夫
ゴン ティアンジャオ
本田 志弥
宮下 英俊
Muhammad Jehanzeb Khan
塚本 貴城
田中 秀治
著者標目
鈴木 裕輝夫
ゴン ティアンジャオ
本田 志弥
宮下 英俊
Muhammad Jehanzeb Khan
塚本 貴城
田中 秀治
並列タイトル等
ONE PASCAL VACUUM SEALING OF MEMS RESONATOR BY SILICON MIGRATION SEALING (SMS) BASED WAFER-LEVEL PACKAGING
タイトル（掲載誌）
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
巻号年月日等（掲載誌）
40:2023.11.6-9
掲載巻
40
掲載ページ
5p
掲載年月日（W3CDTF）
2023-11