Experimental In-Situ Observatory on Brownian Motion Behavior of 105 nm Sized Silica Particles During Chemical Mechanical Polishing of 4H-SiC by an Evanescent Field (Special Issue on On-Machine and In-Process Measurement for Smart and Precision Manufacturing)

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Experimental In-Situ Observatory on Brownian Motion Behavior of 105 nm Sized Silica Particles During Chemical Mechanical Polishing of 4H-SiC by an Evanescent Field(Special Issue on On-Machine and In-Process Measurement for Smart and Precision Manufacturing)

国立国会図書館請求記号
Z78-A598
国立国会図書館書誌ID
033252388
資料種別
記事
著者
Thitipat Permpatdechakulほか
出版者
Tokyo : Fuji Technology Press
出版年
2024-01
資料形態
掲載誌名
International journal of automation technology 18(1)=99:2024.1
掲載ページ
p.47-57
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Thitipat Permpatdechakul
Panart Khajornrungruang
Keisuke Suzuki
Aran Blattler
Jiraphan Inthiam
タイトル(掲載誌)
International journal of automation technology
巻号年月日等(掲載誌)
18(1)=99:2024.1
掲載巻
18
掲載号
1
掲載通号
99