スパッタ堆積と高温アニールで作製した低欠陥密度AlNテンプレートと深紫外LED (特集 深紫外光デバイスの進展とその応用)

記事を表すアイコン

スパッタ堆積と高温アニールで作製した低欠陥密度AlNテンプレートと深紫外LED

(特集 深紫外光デバイスの進展とその応用)

国立国会図書館請求記号
Z16-1255
国立国会図書館書誌ID
033524769
資料種別
記事
著者
三宅 秀人ほか
出版者
東京 : オプトロニクス社
出版年
2024-05
資料形態
掲載誌名
Optronics : 光技術コーディネートジャーナル 43(5)=509:2024.5
掲載ページ
p.88-92
すべて見る

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
記事
著者・編者
三宅 秀人
上杉 謙次郎
赤池 良太
並列タイトル等
Low-defect-density AlN templates fabricated by sputter deposition and high-temperature annealing, and deep ultraviolet LEDs
タイトル(掲載誌)
Optronics : 光技術コーディネートジャーナル
巻号年月日等(掲載誌)
43(5)=509:2024.5
掲載巻
43
掲載号
5