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炭素イオン流成膜法による3次元DLC成膜技術の開発 (小特集 ドライプロセスの最新動向)

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炭素イオン流成膜法による3次元DLC成膜技術の開発

(小特集 ドライプロセスの最新動向)

国立国会図書館請求記号
Z17-291
国立国会図書館書誌ID
033622546
資料種別
記事
著者
黒崎 裕介ほか
出版者
東京 : 表面技術協会
出版年
2024-07
資料形態
掲載誌名
表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 75(7):2024.7
掲載ページ
p.319-323
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
黒崎 裕介
平田 祐樹
並列タイトル等
Synthesis of 3D-DLC Film Using Carbon Based Ion Deposition Technique
タイトル(掲載誌)
表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
75(7):2024.7
掲載巻
75
掲載号
7