炭素イオン流成膜法に...

炭素イオン流成膜法による3次元DLC成膜技術の開発 (小特集 ドライプロセスの最新動向)

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炭素イオン流成膜法による3次元DLC成膜技術の開発

(小特集 ドライプロセスの最新動向)

Call No. (NDL)
Z17-291
Bibliographic ID of National Diet Library
033622546
Material type
記事
Author
黒崎 裕介ほか
Publisher
東京 : 表面技術協会
Publication date
2024-07
Material Format
Paper
Journal name
表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 75(7):2024.7
Publication Page
p.319-323
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
黒崎 裕介
平田 祐樹
Alternative Title
Synthesis of 3D-DLC Film Using Carbon Based Ion Deposition Technique
Periodical title
表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
No. or year of volume/issue
75(7):2024.7
Volume
75
Issue
7