低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成

• 資料種別: 記事
• タイトル: 低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成
• 著者・編者: 佐藤 直幸; キュゾビック ティホミール; 石田 大輝; 保坂 恭平
• シリーズタイトル: 放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護 合同研究会・アークプラズマ・電気接点とその応用
• 著者標目: 佐藤 直幸; キュゾビック ティホミール; 石田 大輝; 保坂 恭平
• 並列タイトル等: Generation of Mg-inert gas mixture plasma and Mg thin film synthesis
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. SA / 電気学会静止器研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2024(28-34):2024.8.5
• 掲載巻: 2024
• 掲載号: 28-34
• 掲載ページ: 5-9
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2024-08-05
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マグネシウム金属; 酸素; プラズマ; フルスペクトラム; 透明導電膜; Magnesium-metal; Oxygen; plasma; Full-spectrum; TCF
• NDLC: ZN32
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: SA-24-029
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z43-241
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 033700724; http://id.ndl.go.jp/bib/033700724
• 整理区分コード: 632