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雑誌電気学会研究会資料 SA
Volume number2024(28-34):2024.8.5
Article低気圧誘導結合放電に...

低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成 (放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護 合同研究会・アークプラズマ・電気接点とその応用)

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低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成

(放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護 合同研究会・アークプラズマ・電気接点とその応用)

Call No. (NDL)
Z43-241
Bibliographic ID of National Diet Library
033700724
Material type
記事
Author
佐藤 直幸ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2024-08-05
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. SA / 電気学会静止器研究会 [編] 2024(28-34):2024.8.5
Publication Page
p.5-9
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Paper

Material Type
記事
Title
低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成
Author/Editor
佐藤 直幸
キュゾビック ティホミール
石田 大輝
保坂 恭平
Series Title
放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護 合同研究会・アークプラズマ・電気接点とその応用
Author Heading
佐藤 直幸
キュゾビック ティホミール
石田 大輝
保坂 恭平
Alternative Title
Generation of Mg-inert gas mixture plasma and Mg thin film synthesis
Periodical title
電気学会研究会資料. SA / 電気学会静止器研究会 [編]
No. or year of volume/issue
2024(28-34):2024.8.5
Volume
2024
Issue
28-34