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先進半導体材料の力学特性理解のための光インデンテーション活用 (特集 脆性材料におけるナノスケール力学の進展)

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先進半導体材料の力学特性理解のための光インデンテーション活用

(特集 脆性材料におけるナノスケール力学の進展)

国立国会図書館請求記号
Z17-206
国立国会図書館書誌ID
034327227
資料種別
記事
著者
中村 篤智ほか
出版者
東京 : 日本セラミックス協会
出版年
2025-06
資料形態
掲載誌名
Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 60(6):2025.6
掲載ページ
p.384-387
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
中村 篤智
大栗 洋人
李 燕
並列タイトル等
Photoindentation for Understanding the Mechanical Properties of Advanced Semiconductor Materials
タイトル(掲載誌)
Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
60(6):2025.6
掲載巻
60
掲載号
6