原子間力顕微鏡における制御応用とその展望 (ナノ・マイクロテクノロジーの制御理論と応用特集号)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山末 耕平引原 隆士
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Recent trends and perspectives on control application in atomic force microscopy
- タイトル（掲載誌）
- システム・制御・情報 = Systems, control and information : システム制御情報学会誌
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 53(6) 2009
- 掲載巻
- 53
- 掲載号
- 6