ナノスケールMOSデバイスにおける界面物性の揺らぎ--界面トラップ1個1個を検出して評価する (情報化社会を支えるシリコンLSI--信頼性とばらつきの物理)
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 土屋 敏章
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Fluctuation of interface properties in nanoscale MOS devices: characterization of individual interface traps
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 78(9) 2009.9
- 掲載巻
- 78
- 掲載号
- 9