光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究 (第13回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)

光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究

(第13回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)

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資料種別: 記事
タイトル: 光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究
著者・編者: 高谷裕浩
道畑正岐
林照剛
シリーズタイトル: 第13回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集
著者標目: 高谷裕浩
道畑正岐
林照剛
並列タイトル等: Study on 3D form measurement of micro-components using the vibrating microprobe controlled by optical radiation pressure
タイトル（掲載誌）: 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集
巻号年月日等（掲載誌）: 13 2008.9.8・9
掲載巻: 13
掲載ページ: 293～298
掲載年月日（W3CDTF）: 2008-09
出版事項（掲載誌）: 高松 : 精密工学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM11
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z74-C287
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 10437522
http://id.ndl.go.jp/bib/10437522
整理区分コード: 632