光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究 (第13回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)

光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究

(第13回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)

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Material Type: 記事
Title: 光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究
Author/Editor: 高谷裕浩
道畑正岐
林照剛
Series Title: 第13回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集
Author Heading: 高谷裕浩
道畑正岐
林照剛
Alternative Title: Study on 3D form measurement of micro-components using the vibrating microprobe controlled by optical radiation pressure
Periodical title: 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集
No. or year of volume/issue: 13 2008.9.8・9
Volume: 13
Pages: 293～298
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2008-09
Publication (Periodical Title): 高松 : 精密工学会
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZM11
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z74-C287
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 10437522
http://id.ndl.go.jp/bib/10437522
Bibliographic Record Category (NDL): 632