雑誌顕微鏡
巻号43(1)-44(4):2008-2009
記事SEM式ナノプロービ...

SEM式ナノプロービングシステムの開発と半導体デバイス解析への応用 (特集 SPMによる半導体表面分析の最近の展開)

記事を表すアイコン

デジタルデータあり（Japan Link Center）

すぐに読む

CiNii Research

SEM式ナノプロービングシステムの開発と半導体デバイス解析への応用(特集 SPMによる半導体表面分析の最近の展開)

国立国会図書館請求記号
Z16-896
国立国会図書館書誌ID
10467313
資料種別
記事
著者
三井 泰裕
出版者
東京 : 日本顕微鏡学会
出版年
2009
資料形態
紙
掲載誌名
顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編 44(3) 2009
掲載ページ
p.157～160
すべて見る

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

連携機関・データベースの一覧

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    デジタル
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
    この本の所蔵を確認

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙 デジタル

資料種別
記事
タイトル
SEM式ナノプロービングシステムの開発と半導体デバイス解析への応用
著者・編者
三井 泰裕
シリーズタイトル
特集 SPMによる半導体表面分析の最近の展開
著者標目
三井 泰裕
並列タイトル等
Development of SEM based nano-probing system and its application
タイトル（掲載誌）
顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編
巻号年月日等（掲載誌）
44(3) 2009
掲載巻
44
掲載号
3