赤外吸収分光法による多結晶シリコン中の酸素および炭素濃度の定量測定
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小野 春彦石塚 貴英小椋 厚志
- 並列タイトル等
- Determination of the oxygen and carbon concentration in polycrystalline silicon by infrared absorption spectroscopy
- タイトル（掲載誌）
- 研究報告 = Reports of Kanagawa Industrial Technology Center / 神奈川県産業技術センター [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (15) 2009
- 掲載号
- 15
- 掲載ページ
- 19～23
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2009