ラマン分光法を用いたGaN/Siの残留歪みの評価に関する研究
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 杉浦 藤虎本田 善央岡本 明大 他
- 並列タイトル等
- Raman spectroscopic study of residual strain and stress in GaN layer grown on Si substrates
- タイトル（掲載誌）
- 豊田工業高等専門学校研究紀要 = Journal of National Institute of Technology, Toyota College
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (42) 2009
- 掲載号
- 42
- 掲載ページ
- 19～22
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2009