ラマン分光法を用いた...

ラマン分光法を用いたGaN/Siの残留歪みの評価に関する研究

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ラマン分光法を用いたGaN/Siの残留歪みの評価に関する研究

国立国会図書館請求記号
Z22-583
国立国会図書館書誌ID
10571435
資料種別
記事
著者
杉浦 藤虎ほか
出版者
豊田 : 豊田工業高等専門学校
出版年
2009
資料形態
掲載誌名
豊田工業高等専門学校研究紀要 = Journal of National Institute of Technology, Toyota College (42) 2009
掲載ページ
p.19~22
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
杉浦 藤虎
本田 善央
岡本 明大 他
並列タイトル等
Raman spectroscopic study of residual strain and stress in GaN layer grown on Si substrates
タイトル(掲載誌)
豊田工業高等専門学校研究紀要 = Journal of National Institute of Technology, Toyota College
巻号年月日等(掲載誌)
(42) 2009
掲載号
42
掲載ページ
19~22
掲載年月日(W3CDTF)
2009