Modulation of PtSi work function by alloying with low work function metal

• 資料種別: 記事
• タイトル: Modulation of PtSi work function by alloying with low work function metal
• 著者・編者: Jun Gao; Jumpei Ishikawa; Shun-ichiro Ohmi
• シリーズタイトル: Silicon devices and materials
• 著者標目: Jun Gao; Jumpei Ishikawa; Shun-ichiro Ohmi
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 110(110) 2010.6-7.30-2
• 掲載巻: 110
• 掲載号: 110
• 掲載ページ: 173～176
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2010
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: PtSi; monosilicide; alloy; Schottky barrier height; SBH; work function; sheet resistance; SWC-anneal
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: SDM2010-92
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 10753322; http://id.ndl.go.jp/bib/10753322
• 整理区分コード: 632