ダブプリズムを用いた接触画像解析に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発に関する研究--ドレッサ粒度がパッド表面性状に及ぼす影響

• 資料種別: 記事
• タイトル: ダブプリズムを用いた接触画像解析に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発に関する研究--ドレッサ粒度がパッド表面性状に及ぼす影響
• 著者・編者: 畝田 道雄; 岡部 憲嗣; 守屋 紀彦 他
• 著者標目: 畝田 道雄; 岡部 憲嗣; 守屋 紀彦
• 並列タイトル等: Development of evaluation method for geometrical characterization of polishing pad surface texture based on contact image analysis using image rotation prism: effect of mesh size of dresser grains on polishing pad surface texture
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 76(11) (通号 911) 2010.11
• 掲載巻: 76
• 掲載号: 11
• 掲載通号: 911
• 掲載ページ: 1276～1282
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2010-11
• ISSN（掲載誌）: 0912-0289
• ISSN-L（掲載誌）: 0912-0289
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 精密工学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: polishing pad; pad surface texture; image rotation prism; contact image analysis; contact ratio; number of contact point; spacing of contact point; spatial FFT
• NDLC: ZN12
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-466
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 10897528; http://id.ndl.go.jp/bib/10897528
• 整理区分コード: 632