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指向性真空計による真...

指向性真空計による真空装置の漏れ検出--点状気体放出源の測定に関する解析

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指向性真空計による真空装置の漏れ検出--点状気体放出源の測定に関する解析

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
2613131
資料種別
記事
著者
荒川 一郎ほか
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
1983-12
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 26(12) 1983.12
掲載ページ
p.p913~918
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
荒川 一郎
辻 泰
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
26(12) 1983.12
掲載巻
26
掲載号
12
掲載ページ
p913~918
掲載年月日(W3CDTF)
1983-12