イオンビーム法によるGaAs,石英,ガラス基板上へのZnSe薄膜の成長
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 田村 進横田 勝弘片山 佐一
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 28(1) 1985.01
- 掲載巻
- 28
- 掲載号
- 1
- 掲載ページ
- p19～29
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1985-01