少量試料を用いた清浄な液体中微粒子数の測定

• 資料種別: 記事
• タイトル: 少量試料を用いた清浄な液体中微粒子数の測定
• 著者・編者: 野沢 明義; 井村 美奈子; 大高 好久
• 著者標目: 野沢 明義; 井村 美奈子; 大高 好久
• タイトル（掲載誌）: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 34(11) 1985.11
• 掲載巻: 34
• 掲載号: 11
• 掲載ページ: Tp148～151
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1985-11
• ISSN（掲載誌）: 0525-1931
• ISSN-L（掲載誌）: 0525-1931
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本分析化学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• 記事種別、記事分類: 記事分類: 化学・化学工業--化学実験・分析化学
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-9
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10891081
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10891081; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10891081
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3056462; http://id.ndl.go.jp/bib/3056462
• 整理区分コード: 632

• 要約等: フォトレジスト,ゼラチン感光液などエレクトロニクス原料は清浄であることが要求されているが,高価であるため,その中に含まれる微粒子(ダスト)の数の測定には少量の試料しか使用を許されない.著者らはダスト計数の基準と考えられる濾過検鏡法に基づく測定技術を開発した.この技術は,濾紙のから試験値の極端な低減を...