少量試料を用いた清浄...

少量試料を用いた清浄な液体中微粒子数の測定

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少量試料を用いた清浄な液体中微粒子数の測定

Call No. (NDL)
Z17-9
Bibliographic ID of National Diet Library
3056462
Material type
記事
Author
野沢 明義ほか
Publisher
東京 : 日本分析化学会
Publication date
1985-11
Material Format
Digital
Journal name
分析化学 / 日本分析化学会 編 34(11) 1985.11
Publication Page
p.Tp148~151
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Detailed bibliographic record

Summary, etc.:

フォトレジスト,ゼラチン感光液などエレクトロニクス原料は清浄であることが要求されているが,高価であるため,その中に含まれる微粒子(ダスト)の数の測定には少量の試料しか使用を許されない.著者らはダスト計数の基準と考えられる濾過検鏡法に基づく測定技術を開発した.この技術は,濾紙のから試験値の極端な低減を...

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Digital

Material Type
記事
Author/Editor
野沢 明義
井村 美奈子
大高 好久
Periodical title
分析化学 / 日本分析化学会 編
No. or year of volume/issue
34(11) 1985.11
Volume
34
Issue
11
Pages
Tp148~151
Publication date of volume/issue (W3CDTF)
1985-11