雑誌電気学会論文誌 D 産業応用部門誌
巻号108(1)-108(6) 19880100-19880600
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マイクロマシーニングとマイクロメカニクス<特集>

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マイクロマシーニングとマイクロメカニクス<特集>

国立国会図書館請求記号
Z16-1608
国立国会図書館書誌ID
3166459
資料種別
記事
著者
-
出版者
東京 : 電気学会
出版年
1988-03
資料形態
紙
掲載誌名
電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = IEEJ transactions on industry applications 108(3) 1988.03
掲載ページ
p.p205～221
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資料詳細

要約等：

記事分類: 機械工学--建築設備 ; 電気工学--電子工学--集積回路（提供元: CiNii Research）

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紙

資料種別
記事
タイトル
マイクロマシーニングとマイクロメカニクス<特集>
タイトル（掲載誌）
電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = IEEJ transactions on industry applications
巻号年月日等（掲載誌）
108(3) 1988.03
掲載巻
108
掲載号
3
掲載ページ
p205～221
掲載年月日（W3CDTF）
1988-03
ISSN（掲載誌）
0913-6339
ISSN-L（掲載誌）
0913-6339