直流放電を用いた気相成長法によるダイヤモンド薄膜の作製と評価 (プラズマプロセスー3-<特集>)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 安田 浩明 他
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 31(6) 1988.06
- 掲載巻
- 31
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- p637～643