直接加熱方式CVD合成装置
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 大久保 昭
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 共通施設技術研究報告 / 東北大学金属材料研究所 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 13) 1989.03
- 掲載通号
- 13
- 掲載ページ
- p15～17
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1989-03
- ISSN（掲載誌）
- 0911-3398