雑誌炭素
巻号(166)-(170) 19950200-19951200
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4フッ化炭素プラズマによる炭素材料の表面改質時の加熱効果

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4フッ化炭素プラズマによる炭素材料の表面改質時の加熱効果

国立国会図書館請求記号
Z17-230
国立国会図書館書誌ID
3593626
資料種別
記事
著者
泉 順 他
出版者
東京 : 炭素材料学会
出版年
1995-02
資料形態
紙
掲載誌名
炭素 / 炭素材料学会 編 (通号 166) 1995.02
掲載ページ
p.p14～18
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資料詳細

要約等：

記事分類: 工業材料・材料試験（提供元: CiNii Research）

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紙

資料種別
記事
タイトル
4フッ化炭素プラズマによる炭素材料の表面改質時の加熱効果
著者・編者
泉 順 他
著者標目
泉 順
タイトル（掲載誌）
炭素 / 炭素材料学会 編
巻号年月日等（掲載誌）
(通号 166) 1995.02
掲載通号
166
掲載ページ
p14～18
掲載年月日（W3CDTF）
1995-02
ISSN（掲載誌）
0371-5345