対向ターゲット式スパッタリング法の放電特性と堆積薄膜特性
デジタルデータあり（学術機関リポジトリデータベース）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 武井 重人森迫 昭光松本 光功
- タイトル（掲載誌）
- 信州大学工学部紀要 / 信州大学工学部紀要委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 76) 1995.09
- 掲載通号
- 76
- 掲載ページ
- p13～20
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1995-09
- ISSN（掲載誌）
- 0037-3818