X線光電子分光法による薄い金属表面酸化膜の膜厚測定(表面・界面・薄膜と分析化学<特集> ; 表面)

• 資料種別: 記事
• タイトル: X線光電子分光法による薄い金属表面酸化膜の膜厚測定
• 著者・編者: 奥田 和明; 伊藤 秋男
• シリーズタイトル: 表面・界面・薄膜と分析化学<特集> ; 表面
• 著者標目: 奥田 和明; 伊藤 秋男
• タイトル（掲載誌）: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 40(11) 1991.11
• 掲載巻: 40
• 掲載号: 11
• 掲載ページ: p691～696
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1991-11
• ISSN（掲載誌）: 0525-1931
• ISSN-L（掲載誌）: 0525-1931
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本分析化学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-9
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10892747
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10892747; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10892747
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3744443; http://id.ndl.go.jp/bib/3744443
• 整理区分コード: 632

• 要約等: 薄い金属酸化膜試料の膜厚をX線光電子分光法により測定した.試料としてAl<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>/Al,PbO/Pb,MgO/Mg,SiO<SUB>2</SUB>/Siを用いた.光電子スペクトルは酸化物と金属成分に対応したダブルピーク構造を示す.各々のピーク強度を光電子取り...