X線光電子分光法による薄い金属表面酸化膜の膜厚測定(表面・界面・薄膜と分析化学<特集> ; 表面)

• Material Type: 記事
• Title: X線光電子分光法による薄い金属表面酸化膜の膜厚測定
• Author/Editor: 奥田 和明; 伊藤 秋男
• Series Title: 表面・界面・薄膜と分析化学<特集> ; 表面
• Author Heading: 奥田 和明; 伊藤 秋男
• Periodical title: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• No. or year of volume/issue: 40(11) 1991.11
• Volume: 40
• Issue: 11
• Pages: p691～696
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 1991-11
• ISSN (Periodical Title): 0525-1931
• ISSN-L (Periodical Title): 0525-1931
• Publication (Periodical Title): 東京 : 日本分析化学会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZP4
• Target Audience: 一般
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z17-9
• Related Material (URI): http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10892747
• Related Material (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10892747; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10892747
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 3744443; http://id.ndl.go.jp/bib/3744443
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: 薄い金属酸化膜試料の膜厚をX線光電子分光法により測定した.試料としてAl<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>/Al,PbO/Pb,MgO/Mg,SiO<SUB>2</SUB>/Siを用いた.光電子スペクトルは酸化物と金属成分に対応したダブルピーク構造を示す.各々のピーク強度を光電子取り...