ポリパラキシリレン系薄膜の高電界電導と絶縁破壊-2-オゾン酸化を用いた絶縁破壊機構の検討(固体絶縁体の電気伝導と絶縁破壊<特集>)

掲載誌名: 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials 112(3) 1992.03

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資料種別: 記事
タイトル: ポリパラキシリレン系薄膜の高電界電導と絶縁破壊-2-オゾン酸化を用いた絶縁破壊機構の検討
著者・編者: 森竜雄
松井俊雄
水谷照吉
シリーズタイトル: 固体絶縁体の電気伝導と絶縁破壊<特集>
著者標目: 森竜雄
松井俊雄
水谷照吉
タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
巻号年月日等（掲載誌）: 112(3) 1992.03
掲載巻: 112
掲載号: 3
掲載ページ: p180～187
掲載年月日（W3CDTF）: 1992-03
ISSN（掲載誌）: 0385-4205
ISSN-L（掲載誌）: 0385-4205
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN31
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-793
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 3756497
http://id.ndl.go.jp/bib/3756497
整理区分コード: 632