エキシマレーザアブレーション法を用いた機能性薄膜の作製 (原子層単位で制御される物質合成<特集>)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 田畑 仁川合 知二
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 36(2) 1993.02
- 掲載巻
- 36
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- p81～86