薄膜電子材料に関する研究--ビスマス系酸化物高温超伝導薄膜のハライドCVDとマイクロブリッジ特性
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 矢野 満明田辺 仁史前元 利彦
- タイトル（掲載誌）
- 中研所報 / 大阪工大摂南大学中央研究所 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 26(2) 1993
- 掲載巻
- 26
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- p47～59
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1993