放射光を用いた高エネルギーX線光電子分光法によるSi(100)酸化薄膜の深さ方向分析

• 資料種別: 記事
• タイトル: 放射光を用いた高エネルギーX線光電子分光法によるSi(100)酸化薄膜の深さ方向分析
• 著者・編者: 山本 博之; 馬場 祐治; 佐々木 貞吉
• 著者標目: 山本 博之; 馬場 祐治; 佐々木 貞吉
• タイトル（掲載誌）: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 45(2) 1996.02
• 掲載巻: 45
• 掲載号: 2
• 掲載ページ: 169～174
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1996-02
• ISSN（掲載誌）: 0525-1931
• ISSN-L（掲載誌）: 0525-1931
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本分析化学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-9
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10893768
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10893768; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10893768
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3926249; http://id.ndl.go.jp/bib/3926249
• 整理区分コード: 632

• 要約等: X線光電子分光法(XPS)における分析深さは,光電子の平均自由行程に依存する.光電子の平均自由行程はその運動エネルギーによって決まることから,放射光のようなエネルギー可変の励起源を用いた場合,分析深さは励起エネルギーに伴って変化する.これらの関係から,放射光を励起源として用いることによって,従来困難...