放射光を用いた高エネルギーX線光電子分光法によるSi(100)酸化薄膜の深さ方向分析

• Material Type: 記事
• Title: 放射光を用いた高エネルギーX線光電子分光法によるSi(100)酸化薄膜の深さ方向分析
• Author/Editor: 山本 博之; 馬場 祐治; 佐々木 貞吉
• Author Heading: 山本 博之; 馬場 祐治; 佐々木 貞吉
• Periodical title: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• No. or year of volume/issue: 45(2) 1996.02
• Volume: 45
• Issue: 2
• Pages: 169～174
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 1996-02
• ISSN (Periodical Title): 0525-1931
• ISSN-L (Periodical Title): 0525-1931
• Publication (Periodical Title): 東京 : 日本分析化学会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZP4
• Target Audience: 一般
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z17-9
• Related Material (URI): http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10893768
• Related Material (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10893768; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10893768
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 3926249; http://id.ndl.go.jp/bib/3926249
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: X線光電子分光法(XPS)における分析深さは,光電子の平均自由行程に依存する.光電子の平均自由行程はその運動エネルギーによって決まることから,放射光のようなエネルギー可変の励起源を用いた場合,分析深さは励起エネルギーに伴って変化する.これらの関係から,放射光を励起源として用いることによって,従来困難...