中間膜によるDLC膜の密着性改善
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 仁平 宣弘三尾 淳森河 和雄
- タイトル（掲載誌）
- 東京都立工業技術センター研究報告 / 東京都立工業技術センター 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 25) 1996.03
- 掲載通号
- 25
- 掲載ページ
- 13～16
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1996-03
- ISSN（掲載誌）
- 0285-6670