グロー放電水素化アモルファスシリコン膜の光照射による構造変化
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 安達 久美本橋 光也本間 和明 他
- タイトル（掲載誌）
- 東京電機大学工学部研究報告 / 東京電機大学工学部 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 39) 1991.12
- 掲載通号
- 39
- 掲載ページ
- 21～27
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1991-12
- ISSN（掲載誌）
- 0389-617X