TEOS/O2プラズマCVDによるプラスチック材料への硬質SiO2薄膜の低温形成第1報

掲載誌名: 自動車技術会論文集 = Transactions of the Society of Automotive Engineers of Japan / 自動車技術会編 27(4) 1996.10

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資料種別: 記事
タイトル: TEOS/O2プラズマCVDによるプラスチック材料への硬質SiO2薄膜の低温形成第1報
著者・編者: 佐野慶一郎
玉巻宏章
野村雅也他
著者標目: 佐野慶一郎
玉巻宏章
野村雅也
タイトル（掲載誌）: 自動車技術会論文集 = Transactions of the Society of Automotive Engineers of Japan / 自動車技術会編
巻号年月日等（掲載誌）: 27(4) 1996.10
掲載巻: 27
掲載号: 4
掲載ページ: 127～132
掲載年月日（W3CDTF）: 1996-10
ISSN（掲載誌）: 0287-8321
ISSN-L（掲載誌）: 0287-8321
出版事項（掲載誌）: 東京 : 自動車技術会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN22
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-1092
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 4067683
http://id.ndl.go.jp/bib/4067683
整理区分コード: 632