多数キャリヤ密度の温度依存性を用いた半導体中の不純物評価法

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多数キャリヤ密度の温度依存性を用いた半導体中の不純物評価法

国立国会図書館請求記号
Z16-1852
国立国会図書館書誌ID
4172219
資料種別
記事
著者
松浦 秀治ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ
出版年
1997-03
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編 80(3) 1997.03
掲載ページ
p.95~100
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
松浦 秀治
園井 量英
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
80(3) 1997.03
掲載巻
80
掲載号
3
掲載ページ
95~100
掲載年月日(W3CDTF)
1997-03