0.8μmルールで製作されたMOS-LSI試料の電子線音波顕微鏡による非破壊・内部観察
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 竹野下 寛
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 長崎大学教育学部自然科学研究報告 = Science bulletin of Faculty of Education, Nagasaki University / 長崎大学教育学部 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 56) 1997.03
- 掲載通号
- 56
- 掲載ページ
- 41～46
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1997-03
- ISSN（掲載誌）
- 0386-443X