融液からのシリコン結...

融液からのシリコン結晶成長過程における不純物原子の挙動:炭素原子

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融液からのシリコン結晶成長過程における不純物原子の挙動:炭素原子

国立国会図書館請求記号
Z15-339
国立国会図書館書誌ID
4365256
資料種別
記事
著者
吉田 興ほか
出版者
大阪 : 日本結晶成長学会
出版年
1997-12
資料形態
掲載誌名
日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 24(5) 1997.12
掲載ページ
p.412~417
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
吉田 興
隈元 崇
石丸 学 他
タイトル(掲載誌)
日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
巻号年月日等(掲載誌)
24(5) 1997.12
掲載巻
24
掲載号
5
掲載ページ
412~417
掲載年月日(W3CDTF)
1997-12