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Si結晶内のボイド状欠陥成長機構 (小特集:バルク成長分科会特集--シリコン結晶の最近の話題から)

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Si結晶内のボイド状欠陥成長機構(小特集:バルク成長分科会特集--シリコン結晶の最近の話題から)

国立国会図書館請求記号
Z15-339
国立国会図書館書誌ID
4365260
資料種別
記事
著者
中居 克彦ほか
出版者
大阪 : 日本結晶成長学会
出版年
1997-12
資料形態
掲載誌名
日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 24(5) 1997.12
掲載ページ
p.438~443
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
中居 克彦
長谷部 政美
池松 陽一 他
タイトル(掲載誌)
日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
巻号年月日等(掲載誌)
24(5) 1997.12
掲載巻
24
掲載号
5
掲載ページ
438~443