スパッタ法によるニオブ酸カリウム薄膜の配向性制御

• 資料種別: 記事
• タイトル: スパッタ法によるニオブ酸カリウム薄膜の配向性制御
• 著者・編者: 橋間 英和; 小西 明男; 若林 肇 他
• 著者標目: 橋間 英和; 小西 明男; 若林 肇
• タイトル（掲載誌）: 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
• 巻号年月日等（掲載誌）: 42(5) 1999.05
• 掲載巻: 42
• 掲載号: 5
• 掲載ページ: 581～584
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1999-05
• ISSN（掲載誌）: 0559-8516
• ISSN-L（掲載誌）: 0559-8516
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本真空協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN15
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-474
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 4761237; http://id.ndl.go.jp/bib/4761237
• 整理区分コード: 632

• 要約等: Potassium niobate thin films were prepared on amorphous (SrO-SiO<SUB>2</SUB>) layer/Si wafer by means of RF magnetron sputtering using a (KNbO<SUB>3</SUB>+ K<SUB>2</SUB>CO<SUB>3</SUB>) mixed powder target. Amorphous (SrO-SiO<SUB>2</SUB>) layers under the potassium niobate thin films were prepared by means of RF magnetron sputtering using a (SrCO<SUB>3</SUB> + SiO<SUB>2</SUB>) mixed powder target. Crystallization and orientation of the potassium niobate thin films depended on (KNbO<SUB>3</SUB> + K<SUB>2</SUB>CO<SUB>3</SUB>) target compositions and amorphous (SrO-SiO<SUB>2</SUB>) layer target compositions under the potassium niobate thin films. The orientation of potassium niobate thin films could be controlled by a favorable choice of (KNbO<SUB>3</SUB> + K<SUB>2</SUB>CO<SUB>3</SUB>) target compositions and amorphous (SrO-SiO<SUB>2</SUB>) layer target compositions, and produced highly [110] oriented perovskite type potassium niobate thin films.
• DOI: 10.3131/jvsj.42.581
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: Potassium niobate thin films were prepared on amorphous (SrO-SiO<SUB>2</SUB>) layer/Si wafer by means of RF magnetron sputtering using a (KNbO<SUB>3</SUB>+ K<SUB>2</SUB>CO<SUB>3</SUB>) mixed powder target. Amorphous (SrO-SiO<SUB>2</SUB>) layers under the potassium niobate thin films were prepared by means of RF magnetron sputtering using a (SrCO<SUB>3</SUB> + SiO<SUB>2</SUB>) mixed powder target. Crystallization and orientation of the potassium niobate thin films depended on (KNbO<SUB>3</SUB> + K<SUB>2</SUB>CO<SUB>3</SUB>) target compositions and amorphous (SrO-SiO<SUB>2</SUB>) layer target compositions under the potassium niobate thin films. The orientation of potassium niobate thin films could be controlled by a favorable choice of (KNbO<SUB>3</SUB> + K<SUB>2</SUB>CO<SUB>3</SUB>) target compositions and amorphous (SrO-SiO<SUB>2</SUB>) layer target compositions, and produced highly [110] oriented perovskite type potassium niobate thin films.
• DOI: 10.3131/jvsj.42.581; https://doi.org/10.3131/jvsj.42.581
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 関連情報（URI）: http://id.ndl.go.jp/bib/4761237; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4761237
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• 提供元機関・データベース: Japan Link Center; https://japanlinkcenter.org/top; 雑誌記事索引データベース; https://ndlsearch.ndl.go.jp; Crossref; https://www.crossref.org; CiNii Articles
• 書誌ID（NDLBibID）: 4761237; http://id.ndl.go.jp/bib/4761237
• NII論文ID: 10004568012