半導体工場における薬品の有効活用と再資源化(特集 あるべき半導体産業資源回生--薬品関連)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 半導体工場における薬品の有効活用と再資源化
• 著者・編者: 大門 直史; 山岸 壮吉; 野崎 征彦
• シリーズタイトル: 特集 あるべき半導体産業資源回生--薬品関連
• 著者標目: 大門 直史; 山岸 壮吉; 野崎 征彦
• タイトル（掲載誌）: Ultra clean technology / 半導体基盤技術研究会編集委員会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 11(4) 1999.08
• 掲載巻: 11
• 掲載号: 4
• 掲載ページ: 235～238
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1999-08
• ISSN（掲載誌）: 0917-0367
• ISSN-L（掲載誌）: 0917-0367
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 半導体基盤技術研究会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 対象利用者: 一般
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z15-698
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/2291012; https://dl.ndl.go.jp/pid/2291012
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 4867319; http://id.ndl.go.jp/bib/4867319
• 整理区分コード: 632