Ultra clean technology

• 資料種別: 雑誌
• ISSN: 0917-0367
• ISSN-L: 0917-0367
• タイトル: Ultra clean technology
• タイトルよみ: Ultra clean technology
• 著者・編者: 半導体基盤技術研究会編集委員会 編
• 著者標目: 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ
• 出版事項: 東京 : 半導体基盤技術研究会
• 出版年月日等: 1990-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1990; 1999
• 刊行状態: 刊行終了
• 刊行頻度: 季刊
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号(1989) - 11巻6号(1999)
• 休・廃刊注記: 以後廃刊
• 数量: 冊
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: ウルトラクリーンテクノロジー ウルトラ クリーン テクノロジー
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 注記（採録）: 雑誌記事索引採録あり
• 雑誌記事索引採録期間: 国立国会図書館雑誌記事索引 8 (1) 1996.02～11 (6) 1999.12
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1巻1号(1989) - 11巻6号(1999)
• 請求記号: Z15-698
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000075628; http://id.ndl.go.jp/bib/000000075628
• 全国書誌番号: 00081256
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 131