Ultra clean technology11(6)

• 資料種別: 雑誌
• ISSN: 0917-0367
• ISSN-L: 0917-0367
• タイトル: Ultra clean technology
• タイトルよみ: Ultra clean technology
• 巻次・部編番号: 11(6)
• 著者・編者: 半導体基盤技術研究会編集委員会 編
• 著者標目: 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ
• 出版事項: 東京 : 半導体基盤技術研究会
• 出版年月日等: 1999-12
• 出版年（W3CDTF）: 1999-12
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号(1989) - 11巻6号(1999)
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: ウルトラクリーンテクノロジー ウルトラ クリーン テクノロジー
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• DOI: 10.11501/2291014; https://doi.org/10.11501/2291014
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/2291014; https://dl.ndl.go.jp/pid/2291014
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2011-06-30T11:18:14+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1巻1号(1989) - 11巻6号(1999)
• 請求記号: Z15-698
• 原資料（JPNO）: 00081256
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/2384703; https://dl.ndl.go.jp/pid/2384703
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

編集主旨 //309～309

リサイクルをデザイン･インした設備

半導体と超電導

あるべき半導体産業資源の完全な回生――設備の回生

特集:あるべき半導体産業資源の完全な回生――半導体産業の設備の回生 //316～316