Ultra clean technology11(6)

• Material Type: 雑誌
• Title: Ultra clean technology
• Title Transcription: Ultra clean technology
• Volume: 11(6)
• Author/Editor: 半導体基盤技術研究会編集委員会 編
• Author Heading: 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 半導体基盤技術研究会
• Publication Date: 1999-12
• Publication Date (W3CDTF): 1999-12
• Year and volume of publication: 1巻1号(1989) - 11巻6号(1999)
• Size: 30cm
• Alternative Title: ウルトラクリーンテクノロジー ウルトラ クリーン テクノロジー
• ISSN (Periodical Title): 0917-0367
• ISSN-L (Periodical Title): 0917-0367
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZM35
• Note (General): 本タイトル等は最新号による
• DOI: 10.11501/2291014; https://doi.org/10.11501/2291014
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/2291014; https://dl.ndl.go.jp/pid/2291014
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• Producer: 国立国会図書館
• Production year (W3CDTF): 2011-03-31
• Date Accepted (W3CDTF): 2011-06-30T11:18:14+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Year and volume of holding: 1巻1号(1989) - 11巻6号(1999)
• Call No.: Z15-698
• Original Material (JPNO): 00081256
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/2384703; https://dl.ndl.go.jp/pid/2384703
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

編集主旨 //309～309

リサイクルをデザイン･インした設備

半導体と超電導

あるべき半導体産業資源の完全な回生――設備の回生

特集:あるべき半導体産業資源の完全な回生――半導体産業の設備の回生 //316～316