ECRスパッタ法によるCo-Cr-Ta/Ti垂直磁気ディスクの作製--マイクロ波電力による物性制御
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 池田 朋広山本 節夫平田 京 他
- タイトル（掲載誌）
- 映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 24(4) 2000.01
- 掲載巻
- 24
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 1～8
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2000-01