特集解説 Interferometric Metrology of Dynamic Properties of MEMS(特集マイクロマシンにおける計測技術)

掲載誌名: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 120(8・9) 2000.8・9

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資料種別: 記事
タイトル: 特集解説 Interferometric Metrology of Dynamic Properties of MEMS
著者・編者: Chih-Kung Lee
Giin-Yuan Wu
シリーズタイトル: 特集マイクロマシンにおける計測技術
著者標目: Chih-Kung Lee
Giin-Yuan Wu
タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等（掲載誌）: 120(8・9) 2000.8・9
掲載巻: 120
掲載号: 8・9
掲載ページ: 381～385
掲載年月日（W3CDTF）: 2000
ISSN（掲載誌）: 1341-8939
ISSN-L（掲載誌）: 1341-8939
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
件名標目: Interferometer
measuring instrument
Doppler effect
transfer functions
NDLC: ZN31
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-B380
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 5429620
http://id.ndl.go.jp/bib/5429620
整理区分コード: 632