電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines

• 資料種別: 雑誌
• ISSN: 1341-8939
• ISSN-L: 1341-8939
• タイトル: 電気学会論文誌
• タイトルよみ: デンキ ガッカイ ロンブンシ
• 巻次・部編番号: E; 120(1)-120(12) 20000100-20001200
• 部編名: センサ・マイクロマシン部門誌
• 著者標目: 電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )典拠
• 出版事項: 東京 : 電気学会
• 出版年月日等: 2000
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 出版表示等に関する注記: 116巻2号から131巻4号までの頒布者: オーム社
• 刊行巻次・年月次: 115巻1号 (平成7年)-
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: IEEJ transactions on sensors and micromachines IEEJ transactions on sensors and micromachines; IEEJ transactions on sensors and micromachines; Transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. E, A publication of Sensors and Micromachines Society; 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 デンキ ガッカイ ロンブンシ. E, センサ マイクロマシン ジュンブモンシ
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• NDLC: ZN31
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 119巻6号から127巻5号までの本タイトル: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌; 並列タイトル変遷: Transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. E, A publication of Sensors and Micromachines Society (115巻1号-122巻12号); 115巻1号は「電気学会誌」115巻12号付録として刊行, 116巻1号は「電気学会誌」116巻2号付録として刊行
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-B380
• 改題前: 派生前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000091295
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000097980; http://id.ndl.go.jp/bib/000000097980
• 全国書誌番号: 00103753
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 131

目次

特集:立体的微細加工

3-Dimensional Microstructure Fabrication using Multiple Moving Mask Deep X-ray Lithography Process (特集:立体的微細加工)

Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH (特集:立体的微細加工)

薄膜の常温接合による微小3次元形状創成法における薄膜パターンの転写性に関する検討 (特集:立体的微細加工)

Fabrication of Sub-Micron Structures with High Aspect Ratio for Practical MEMS (特集:立体的微細加工)

特集 集積化・知能化センサとその要素技術

CMOS Integrated Chemical Microsensors And Their Circuitry (特集 集積化・知能化センサとその要素技術)

ビジョンチップのための1次元動きベクトル検出法 (特集 集積化・知能化センサとその要素技術)

感度自動調整機能を有する人工網膜LSI (特集 集積化・知能化センサとその要素技術)

1ビットデジタル演算方式を用いた匂いセンサ用学習・識別LSI回路の研究 (特集 集積化・知能化センサとその要素技術)

磁気センサによるナビゲーションのための新方位決定式の導出

歯の噛み合い力と相対位置をモニタするセンサの開発

電解研磨によるタングステン探針製作における再現性向上

Multi-layered Sensing Approach for Environment Perception with One Multi-Functional Sensor

水晶マイクロ天秤を使用した高速・高周波IC検査プローブ

特集 マイクロマシンにおける計測技術

特集解説 Interferometric Metrology of Dynamic Properties of MEMS (特集 マイクロマシンにおける計測技術)

特集論文 プラズマRIEによるLiNbO3結晶の加工表面形状評価 (特集 マイクロマシンにおける計測技術)

電磁駆動によるネジ溝付きワブルモータ

一様曲げモーメントをもつ静電駆動微細はりの変形解析

特集:生活環境の化学センシング

厚膜集積化ガスセンサによる室内VOCの識別 (特集:生活環境の化学センシング)

生活環境におけるVOC検知システムの構築 (特集:生活環境の化学センシング)

膨潤性プラスチック光ファイバによるアルカンおよびガソリン蒸気の光センシング (特集:生活環境の化学センシング)

ジエトキシジメチルシランで表面化学改質したSnO2のガス検出特性に及ぼすPd及びPtの添加効果 (特集:生活環境の化学センシング)

解説 マイクロマシンにおける計測の信頼性

解説 自動車のセンサ技術

解説 センサ材料の現状と将来展望

自走型磁気アクチュエータ用回転素子の試作

近視野光のフォトレジスト露光特性

特集 ナノマシニングとデータストレージ

特集解説 SPMによるナノマシーニングとデータストレージ (特集 ナノマシニングとデータストレージ)

原子間力顕微鏡による層状結晶材料のナノプロセッシングとその高密度記録への応用 (特集 ナノマシニングとデータストレージ)

Detector Pixel in Dielectric Bolometer Mode Based on Ferroelectric thin Film Capacitors for Uncooled Infrared Image Sensor

味覚センサによる牛乳の味の計測

特集:可視化技術

実時間マイクロVRカメラの試作 (特集:可視化技術)

マイクロせん断応力計と離散ウェーブレット解析による壁面せん断応力の可視化と探知 (特集:可視化技術)

完全埋込型人工心臓の可視化とモニタリング--バーチャルリアリティ技術とマイクロマシーニング技術の応用 (特集:可視化技術)

電子干渉計測によるナノ構造と電界分布の可視化の試み (特集:可視化技術)

特集:強誘電体薄膜材料とプロセス技術

薄膜型バルク波共振子におけるZnO圧電薄膜と下地電極の最適化 (特集:強誘電体薄膜材料とプロセス技術)

Application of Ferroelectric BST Thin Film Prepared by MOD for Uncooled Infrared Sensor of Dielectric Bolometer Mode (特集:強誘電体薄膜材料とプロセス技術)

機械的ひずみによるPb(Zr,Ti)O3薄膜の誘電特性の制御に関する研究 (特集:強誘電体薄膜材料とプロセス技術)

Through-hole Interconnections Formed by Optical Excitation Electropolishing Method

特集 振動型センサ・アクチュエータ

特集解説 機械振動・共振を利用したセンサ技術 (特集 振動型センサ・アクチュエータ)

表面形状測定用タッピングスタイラスの研究 (特集 振動型センサ・アクチュエータ)

4対の水晶振動子を用いた接触力・接触位置センサとこれによる外界センシング (特集 振動型センサ・アクチュエータ)

Full-fiber-type sensing system for physical quantities using a photothermally vibrate quartz-core cantilever (特集 振動型センサ・アクチュエータ)

Multiple-height Microstructures Fabricated by ICP-RIE and Embedded Masking Layers

一様曲げモーメントをもつ静電駆動微細はりのヒステリシス特性解析

A Simple Si Pitch-variable Grating With Shape Memory Alloy Actuator

形状記憶合金コイルを用いた細径能動カテーテル

屈曲,ねじれ,伸長能動カテーテルの電気めっきによる組み立て