オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるITOの成膜 (小特集「反応性スパッタリングとターゲット」)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 重里 有三伊藤 宜弘今 真人 他
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 43(8) 2000.8
- 掲載巻
- 43
- 掲載号
- 8
- 掲載ページ
- 779～784