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オゾン添加反応性直流...

オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるITOの成膜 (小特集「反応性スパッタリングとターゲット」)

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オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるITOの成膜(小特集「反応性スパッタリングとターゲット」)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
5476047
資料種別
記事
著者
重里 有三ほか
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2000-08
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 43(8) 2000.8
掲載ページ
p.779~784
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
重里 有三
伊藤 宜弘
今 真人 他
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
43(8) 2000.8
掲載巻
43
掲載号
8
掲載ページ
779~784