超高真空スパッタリング装置を用いた多結晶Si膜の形成 (小特集 多結晶Si薄膜トランジスタ製作へのプラズマ技術の応用)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 三島 康由
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル(掲載誌)
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 44(6) 2001.6
- 掲載巻
- 44
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- 578~582